| 发明名称 |
LAMINATION PROCESS FOR PHOTORESISTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1546290(A) |
申请公布日期 |
1979.05.23 |
| 申请号 |
GB19770049470 |
申请日期 |
1977.11.28 |
| 申请人 |
DU PONT DE NEMOURS & CO E I |
发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/20;G03F7/00;G03F7/16;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/312;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/28;(IPC1-7):G03C5/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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