发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5463686(A) 申请公布日期 1979.05.22
申请号 JP19770130050 申请日期 1977.10.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YONEDA TADANAKA;FUJII EIZOU;TAKEMOTO TOYOKI;SADAMATSU HIDEAKI;YAMADA HARUYASU
分类号 H01L29/80;H01L21/337;H01L29/06;H01L29/808 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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