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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5463686(A)
申请公布日期
1979.05.22
申请号
JP19770130050
申请日期
1977.10.28
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
YONEDA TADANAKA;FUJII EIZOU;TAKEMOTO TOYOKI;SADAMATSU HIDEAKI;YAMADA HARUYASU
分类号
H01L29/80;H01L21/337;H01L29/06;H01L29/808
主分类号
H01L29/80
代理机构
代理人
主权项
地址
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