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发明名称 INSPECTION OF BUMP ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPS5463675(A) 申请公布日期 1979.05.22
申请号 JP19770130029 申请日期 1977.10.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 WATANABE MICHIZOU;SAKAMOTO SANPEI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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