发明名称 PRODUCTION OF SELF ALIGNMENT TYPE MOS TYPE FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS5461882(A) 申请公布日期 1979.05.18
申请号 JP19770129147 申请日期 1977.10.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OSADA YOSHIHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L29/417 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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