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发明名称 ETCHING METHOD OF ALUMINUM WIRING
摘要
申请公布号 JPS5461875(A) 申请公布日期 1979.05.18
申请号 JP19770128912 申请日期 1977.10.27
申请人 SONY CORP 发明人 HIRANO KOUJI;ASANO KATSUAKI;YOSHII YOUJI
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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