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发明名称 DISCHARGER FOR VISCOUS FLUID
摘要
申请公布号 JPS5461476(A) 申请公布日期 1979.05.17
申请号 JP19770127520 申请日期 1977.10.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 MAEJIMA HIROSHI;NANKOU SUSUMU;NASHIHARA HIROSHI
分类号 H01L21/306;H01L21/027;H01L21/314 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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