发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5461465(A) 申请公布日期 1979.05.17
申请号 JP19770127542 申请日期 1977.10.26
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 KASAHARA OSAMU
分类号 H01L21/3213;H01L21/027;H01L21/28 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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