| 发明名称 |
INTRODUCTION METHOD OF IMPURITY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5461462(A) |
申请公布日期 |
1979.05.17 |
| 申请号 |
JP19770128475 |
申请日期 |
1977.10.25 |
| 申请人 |
SHARP KK |
发明人 |
TOMITA KOUJI;TAKAGI JIYUNKOU;INOUE TADAAKI |
| 分类号 |
H01L29/812;H01L21/265;H01L21/324;H01L21/338 |
主分类号 |
H01L29/812 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
