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发明名称
摘要
申请公布号 CH611029(A5) 申请公布日期 1979.05.15
申请号 CH19770000778 申请日期 1977.01.21
申请人 INFICON LEYBOLD-HERAEUS INC. 发明人 CHIH-SHUM LU
分类号 C23C14/54;(IPC1-7):G01N23/22;C23C13/00 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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