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发明名称 Raster-Korpuskularstrahlmikroskop
摘要
申请公布号 DE1948270(A1) 申请公布日期 1971.04.01
申请号 DE19691948270 申请日期 1969.09.19
申请人 SIEMENS AG 发明人 THON FRIEDRICH DR RER NAT
分类号 H01J37/26;H01J37/04;H01J37/28;(IPC1-7):H01J/ 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
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