发明名称 METHOD TRIMMING SEMICONDUCTOR THIN LAYER BY LASER
摘要
申请公布号 JPS5459882(A) 申请公布日期 1979.05.14
申请号 JP19780109561 申请日期 1978.09.06
申请人 NAT SEMICONDUCTOR CORP 发明人 ROBAATO EFU JIYONSON
分类号 H01L29/80;H01L21/268;H01L21/302;H01L21/337;H01L21/822;H01L21/8232;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/808 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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