发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5459077(A) 申请公布日期 1979.05.12
申请号 JP19770125126 申请日期 1977.10.20
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 YAMAMOTO NAOKI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L29/43 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址