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摘要
申请公布号
JPS5411229(B2)
申请公布日期
1979.05.12
申请号
JP19760020559
申请日期
1976.02.26
申请人
发明人
分类号
C30B31/02;H01L21/225
主分类号
C30B31/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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