| 发明名称 |
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5458368(A) |
申请公布日期 |
1979.05.11 |
| 申请号 |
JP19770124525 |
申请日期 |
1977.10.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KACHI TADAO;NAKAMURA SHIYUUICHI |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/265;H01L21/331;H01L27/04;H01L29/08;H01L29/72;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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