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发明名称
FORMING METHOD OF POLYIMIDE FILM IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5458389(A)
申请公布日期
1979.05.11
申请号
JP19770125498
申请日期
1977.10.18
申请人
SANYO ELECTRIC CO
发明人
FUKUDA HISASHI
分类号
H01L21/302;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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