AIR CARRIER FOR WAFERS,申请号JP19770124526-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	AIR CARRIER FOR WAFERS
摘要
申请公布号	JPS5458363(A)	申请公布日期	1979.05.11
申请号	JP19770124526	申请日期	1977.10.19
申请人	HITACHI LTD	发明人	NASHIHARA HIROSHI;MAEJIMA HIROSHI
分类号	B65G51/03;B65G49/07;B65G53/02;H01L21/00;H01L21/677	主分类号	B65G51/03
代理机构		代理人
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