发明名称 WERKWIJZE VOOR HET EPITAXIAAL NEERSLAAN VAN VERSCHEIDENE LAGEN.
摘要
申请公布号 NL7712315(A) 申请公布日期 1979.05.11
申请号 NL19770012315 申请日期 1977.11.09
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN TE EINDHOVEN. 发明人
分类号 H01L33/00;C30B19/00;C30B19/06;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/04 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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