| 发明名称 |
VACUUM PROCESSOR WITH AUTOMATIC WAFER FEEDER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5457867(A) |
申请公布日期 |
1979.05.10 |
| 申请号 |
JP19770124337 |
申请日期 |
1977.10.17 |
| 申请人 |
NICHIDEN VARIAN KK |
发明人 |
TAKAHASHI NOBUYUKI;ABE JIYUICHI;SUGIMOTO RIYUUJI |
| 分类号 |
C23F4/00;C23C14/24;C23C14/50;C23F1/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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