VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILIZIUM-BAUELEMENTEN, DIE TEILWEISE EINE EINKRISTALLINE STRUKTUR AUFWEISEN MUESSEN, UND VERWENDUNG DES VERFAHRENS ZUR HERSTELLUNG VON DRUCKSENSOREN,申请号DE19772753378-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILIZIUM-BAUELEMENTEN, DIE TEILWEISE EINE EINKRISTALLINE STRUKTUR AUFWEISEN MUESSEN, UND VERWENDUNG DES VERFAHRENS ZUR HERSTELLUNG VON DRUCKSENSOREN
摘要
申请公布号	DE2753378(A1)	申请公布日期	1979.05.10
申请号	DE19772753378	申请日期	1977.11.30
申请人	BBC AG BROWN,BOVERI & CIE	发明人	MIZRAH,TIBERIU,DR.
分类号	H01L21/24;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/30	主分类号	H01L21/24
代理机构		代理人
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