| 发明名称 |
METHOD OF FOCUSING IN ELECTRON BEAM UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5457950(A) |
申请公布日期 |
1979.05.10 |
| 申请号 |
JP19770124841 |
申请日期 |
1977.10.18 |
| 申请人 |
ERIONIKUSU KK |
发明人 |
HOTSUTA MASANAO;OOI HIDEYUKI;SUGANUMA TADAO |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/26;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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