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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5457861(A) 申请公布日期 1979.05.10
申请号 JP19770123478 申请日期 1977.10.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAO MASANOBU;TOKUYAMA KON
分类号 H01L21/265;H01L21/324 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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