发明名称 ELEKTRONENRESIST
摘要
申请公布号 DE2848254(A1) 申请公布日期 1979.05.10
申请号 DE19782848254 申请日期 1978.11.07
申请人 CESKOSLOVENSKA AKADEMIE VED 发明人 KALAL,JAROSLAV,PROF.DR.SC.;BEDNAR,BOHUMIL,DIPL.-ING.;ZACHOVAL,JAROMIR,DIPL.-ING.;PETR,JIRI;PELZBAUER,ZDENEK,DR.;SVEC,FRANTISEK,DIPL.-ING.
分类号 C08F20/00;C08F20/32;C08F236/00;C08F236/04;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):H05K3/02 主分类号 C08F20/00
代理机构 代理人
主权项
地址