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发明名称 SURFACEEPROCESSING METHOD FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS5457866(A) 申请公布日期 1979.05.10
申请号 JP19770124023 申请日期 1977.10.18
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MIKASA TAKAO;OZAWA SHIGERU;TAO KINZOU
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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