| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES ULTRAFEINEN MUSTERS DURCH UV BELICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2847764(A1) |
申请公布日期 |
1979.05.10 |
| 申请号 |
DE19782847764 |
申请日期 |
1978.11.03 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO K.K. |
发明人 |
TSUDA,MINORU,DR.;NAKAMURA,YOICHI |
| 分类号 |
C08L29/00;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/68;G03C5/48;H01L23/50;H01L21/28;H05K3/06 |
主分类号 |
C08L29/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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