| 发明名称 |
METHOD OF ETCHING OPENING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5456433(A) |
申请公布日期 |
1979.05.07 |
| 申请号 |
JP19780061814 |
申请日期 |
1978.05.25 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
MERUBIN BAAKENBURITSUTO;SHII AAKU CHIYAN;AANORUDO REIZUMAN;SUTANREE JIRINSUKII |
| 分类号 |
B05B1/00;B41J2/135;C04B41/53;C04B41/91;C23F1/00;G01F1/42;H01L21/308;H03H7/06 |
主分类号 |
B05B1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
