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发明名称
摘要
申请公布号 FR2323227(B1) 申请公布日期 1979.05.04
申请号 FR19760023632 申请日期 1976.07.27
申请人 IBM 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/225;H01L21/8247;H01L27/07;H01L29/06;H01L29/40;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/00;G11C11/40 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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