发明名称 REMOVING METHOD OF SEMICONDUCTOR PELLETS
摘要
申请公布号 JPS5455175(A) 申请公布日期 1979.05.02
申请号 JP19770121514 申请日期 1977.10.12
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 NISHIKAWA TAKATOSHI
分类号 H01L21/67;H01L21/68 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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