发明名称 APPARATUS AND PROCESS FOR MACHINING WORKPIECES BY ABRASION
摘要
申请公布号 GB2006062(A) 申请公布日期 1979.05.02
申请号 GB19780035185 申请日期 1978.08.31
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GES FUER ELEKTRONIK-GRUNSTOFFE MBH 发明人
分类号 B24B27/06;B24B1/04;B28D5/04;H01L21/304;(IPC1-7):B24B27/00;B06B3/00 主分类号 B24B27/06
代理机构 代理人
主权项
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