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发明名称
ARRAYING METHOD OF SEMICONDUCTOR PELLETS
摘要
申请公布号
JPS5455170(A)
申请公布日期
1979.05.02
申请号
JP19770122070
申请日期
1977.10.11
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KAMIKAWA TAKASHI
分类号
H01L21/68;H01L21/48
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
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