发明名称 COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING A DOPED OXIDE FILM
摘要
申请公布号 US4152286(A) 申请公布日期 1979.05.01
申请号 US19770832857 申请日期 1977.09.13
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC 发明人 AYCOCK, ROBERT F;BREWER, TERRY L;CROSSON, CAROL A
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L7/44 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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