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发明名称 DEVICE FOR PRECISE POSITIONING OF OBJECTS
摘要
申请公布号 SU660028(A1) 申请公布日期 1979.04.30
申请号 SU19782579156 申请日期 1978.01.30
申请人 NIKULIN NIKOLAJ ,SU;KOMAROV VALERIJ N,SU;POYARKOV IGOR ,SU;SEVERINOV VLADIMIR F,SU 发明人 NIKULIN NIKOLAJ ,SU;KOMAROV VALERIJ N,SU;POYARKOV IGOR ,SU;SEVERINOV VLADIMIR F,SU
分类号 G05D3/00;G12B1/00;H01L21/68;H01L21/70;(IPC1-7):G05D3/00 主分类号 G05D3/00
代理机构 代理人
主权项
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