发明名称 EVAPORATOR FOR DEPOSITING COMPLEX COMBINATIONS OF MATERIALS
摘要
申请公布号 SU659642(A1) 申请公布日期 1979.04.30
申请号 SU19772530178 申请日期 1977.10.06
申请人 BEKKER YURIJ M,SU;VALEEV ADIL S,SU;VANIN ALEKSANDR A,SU;EVDOKIMOV GENRIKH V,SU;FISHEL ILYA SH,SU;KHRUSTALEV VLADIMIR A,SU 发明人 BEKKER YURIJ M,SU;VALEEV ADIL S,SU;VANIN ALEKSANDR A,SU;EVDOKIMOV GENRIKH V,SU;FISHEL ILYA SH,SU;KHRUSTALEV VLADIMIR A,SU
分类号 (IPC1-7):C23C13/12 主分类号 (IPC1-7):C23C13/12
代理机构 代理人
主权项
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