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发明名称 DEVICE FOR DEPOSITING COATING IN VACUUM
摘要
申请公布号 SU659641(A1) 申请公布日期 1979.04.30
申请号 SU19772516191 申请日期 1977.08.09
申请人 LATYSHEV YAKOV M,SU 发明人 LATYSHEV YAKOV M,SU
分类号 C23C14/26;C23C14/24;(IPC1-7):23C13/08 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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