发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5454567(A) |
申请公布日期 |
1979.04.28 |
申请号 |
JP19770122154 |
申请日期 |
1977.10.07 |
申请人 |
SANYO ELECTRIC CO;TOKYO SANYO ELECTRIC CO |
发明人 |
HAYASHI YOSHINOBU |
分类号 |
H01L21/306;H01L21/22;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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