发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5454567(A) 申请公布日期 1979.04.28
申请号 JP19770122154 申请日期 1977.10.07
申请人 SANYO ELECTRIC CO;TOKYO SANYO ELECTRIC CO 发明人 HAYASHI YOSHINOBU
分类号 H01L21/306;H01L21/22;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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