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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5453874(A) 申请公布日期 1979.04.27
申请号 JP19770119452 申请日期 1977.10.06
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 TERAKAWA KAZUO;SAKAGAMI KENROU
分类号 H01L27/04;H01L21/265;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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