发明名称 MANUFACTURE OF BORON PHOSPHIDE SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5452464(A) 申请公布日期 1979.04.25
申请号 JP19780113140 申请日期 1978.09.14
申请人 TDK ELECTRONICS CO LTD 发明人 SHIYOUNO KATSUFUSA
分类号 C30B25/02;C30B29/40;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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