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发明名称 INSPECTOR OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5451385(A) 申请公布日期 1979.04.23
申请号 JP19770117615 申请日期 1977.09.29
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 HONMA MICHIO
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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