发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5451480(A) 申请公布日期 1979.04.23
申请号 JP19770117569 申请日期 1977.09.30
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 NAKASUJI MAMORU;SHINOZAKI TOSHIAKI;WASHIMI MASAHIKO
分类号 H01L21/027;H01L21/26 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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