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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5451480(A)
申请公布日期
1979.04.23
申请号
JP19770117569
申请日期
1977.09.30
申请人
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI
发明人
NAKASUJI MAMORU;SHINOZAKI TOSHIAKI;WASHIMI MASAHIKO
分类号
H01L21/027;H01L21/26
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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