发明名称 SPUTTERING RECHNIQUE FOR THE DEPOSITION OF INDIUM OXIDE
摘要
申请公布号 GB2005309(A) 申请公布日期 1979.04.19
申请号 GB19780037415 申请日期 1978.09.20
申请人 PPG INDUSTRIES INC 发明人
分类号 C03C17/245;C23C14/00 主分类号 C03C17/245
代理机构 代理人
主权项
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