EQUIPMENT FOR LIQUID PHASE GROWTH,申请号JP19770115831-传众专利搜索

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发明名称	EQUIPMENT FOR LIQUID PHASE GROWTH
摘要
申请公布号	JPS5448688(A)	申请公布日期	1979.04.17
申请号	JP19770115831	申请日期	1977.09.26
申请人	NIPPON ELECTRIC CO	发明人	SAKUMA ISAMU
分类号	C30B19/06;H01L21/208	主分类号	C30B19/06
代理机构		代理人
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