发明名称
摘要
申请公布号 JPS5455274(U) 申请公布日期 1979.04.17
申请号 JP19770129729U 申请日期 1977.09.26
申请人 发明人
分类号 H01L23/32;G01R31/26;H01L21/66;H01L23/00;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L23/32
代理机构 代理人
主权项
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