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发明名称 XXRAY EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5448174(A) 申请公布日期 1979.04.16
申请号 JP19770114588 申请日期 1977.09.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 MORITA MITSUHIRO
分类号 H01L21/027;H01L21/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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