| 发明名称 |
PRODUCTION OF ULTRAPHOSPHATE EPITAXIAL LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5447899(A) |
申请公布日期 |
1979.04.14 |
| 申请号 |
JP19770114576 |
申请日期 |
1977.09.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KASANO HIROYUKI;FURUHATA YOSHIO |
| 分类号 |
C30B19/00;C01B25/38;C30B29/14;H01S3/16 |
主分类号 |
C30B19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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