发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS5447575(A) |
申请公布日期 |
1979.04.14 |
申请号 |
JP19770113349 |
申请日期 |
1977.09.22 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HIRAIWA ATSUSHI;KATSUTOU HISAO;MUKAI KIICHIROU;MURAMATSU SHINICHI;TAKAHASHI SHIGERU;YOSHIDA IKUO |
分类号 |
H01L21/768;H01L21/283;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|