发明名称 PRODUCTION OF MOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5447489(A) 申请公布日期 1979.04.14
申请号 JP19770112706 申请日期 1977.09.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 OSA YASUNOBU;TANIGAKI YUKIO
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/285;H01L29/40 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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