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发明名称
摘要
申请公布号 JPS548356(B2) 申请公布日期 1979.04.14
申请号 JP19730104446 申请日期 1973.09.14
申请人 发明人
分类号 C30B13/28;C30B13/30;G05D27/00;H01L21/208 主分类号 C30B13/28
代理机构 代理人
主权项
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