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发明名称
摘要
申请公布号 JPS548077(B1) 申请公布日期 1979.04.12
申请号 JP19710048218 申请日期 1971.07.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/314;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/31 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
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