| 发明名称 |
CONTROLLER FOR SEMICONDUCTOR MEASURING INSTRUMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5444873(A) |
申请公布日期 |
1979.04.09 |
| 申请号 |
JP19770111310 |
申请日期 |
1977.09.16 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
OOTA MAMORU;SEKI YUUJI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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