发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5444485(A) 申请公布日期 1979.04.07
申请号 JP19770110513 申请日期 1977.09.16
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HARADA NOZOMI;ENDOU YUKIO
分类号 H01L21/822;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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