| 发明名称 |
CLEANING UNIT OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5444472(A) |
申请公布日期 |
1979.04.07 |
| 申请号 |
JP19770109937 |
申请日期 |
1977.09.14 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
ONO INSEI;MURAMOTO SUSUMU |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/30;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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